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MEMS晶圓測試

￥1.0

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累計預約

規(guī)格：
  • 硅麥克風晶圓測試￥212.00
  • 壓力傳感器晶圓測試￥212.00
  • 陀螺儀晶圓測試￥212.00
  • 加速度計晶圓測試￥212.00
  • 服務詳情

上海工研院提供MEMS晶圓測試服務


可測試的器件類型有：加速度計、陀螺儀、硅麥克風和壓力傳感器等


可測試的參數(shù)包括：


漏電流

電容

其它靜態(tài)參數(shù)

諧振頻率

品質因素

阻尼系數(shù)

正交誤差

其它動態(tài)參數(shù)


主要設備： STI3000全自動探針臺

設備介紹：

通過STI3000全自動探針臺，提供晶圓的接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電

平測試、全面的功能測試、全面的動態(tài)參數(shù)測試以及模擬信號的參數(shù)測試等。

STI3000晶圓探針臺的主要特征參數(shù)：

Wafer Size Range: 75mm - 150mm

Cassette to Cassette

Temperature Control Chuck optional

Automatic Alignment

OCR Camera

Dimensions: 53" x 32" x 56"

Weight: 770 lbs


單位介紹